本发明公开了一种平面金属薄片曲折间隙慢波结构及其加工方法，该结构包含一个中间段刻有周期性图案的槽即曲折间隙并形成等周期性结构的平面金属片，平面金属片左端、右端向前侧方延伸部分有逐步加宽的间隙，该间隙与中间段曲折间隙连通，以及内部有从左端到右端的矩形结构作为注波互作用的通道，左端、右端向前侧方的各一脊波导，脊波导作为输入输出结构耦合电磁波到注波互作用通道或耦合电磁波出注波互作用通道的金属外壳。本发明中的慢波结构不包含介质基底或支撑板，可以有效解决自由电子存在的情况下电介质衬底导致的介电损耗、电荷积累的问题，且平面金属薄片的厚度通常在百微米量级，不受加工工艺的限制。