本发明属于废水处理领域，具体涉及用于制备低温等离子体活化水的DBD反应装置、装备及方法。本发明提供了一种DBD反应装置，以及由电源系统、上述DBD反应装置、气体控制系统和诊断系统组成的低温等离子体活化水制备装备及低温等离子体活化水制备方法，其中DBD反应装置包括同轴DBD反应器和活化水反应容器，同轴DBD反应器周身开出气孔可以缩短放电产生等离子体的传播距离，使之低损失地通入水中；气孔的数量远大于传统DBD反应器，增加活性粒子向水中的扩散路径，提高扩散效率和气液交换速率，形成具有氧化性的等离子体活化水。