本发明提供能够以高收率制造可用作适合用于表面处理剂的含氟醚化合物的中间体的含氟醚化合物的含氟醚化合物的制造方法。含氟醚化合物的制造方法是使R1OH与下式(1)所示的化合物反应，得到包含下式(1)所示的化合物、下式(2)所示的化合物和下式(3)所示的化合物的混合物，HO(O)C‑Rf2O‑(Rf1O)m‑Rf2‑C(O)OH…(1)HO(O)C‑Rf2O‑(Rf1O)m‑Rf2‑C(O)OR1…(2)R1O(O)C‑Rf2O‑(Rf1O)m‑Rf2‑C(O)OR1…(3)其中，Rf1和Rf2分别独立地是全氟亚烷基，m是2～200的整数，(Rf1O)m可以由2种以上的Rf1O构成，R1是1价的有机基团。