本发明公开了一种有机硅高盐废水的生化处理方法，有机硅生产高盐废水，采用厌氧水解+接触氧化+臭氧氧化‑生化耦合工艺处理；厌氧水解池投加生物促进剂、还原铁粉，控制出水ORP＜‑400mV；接触氧化池接触氧化池末端投加粉末活性炭，控制DO为4.0～6.0mg/L；臭氧氧化采用臭氧/H2O2工艺，所述臭氧‑生化出水回流至厌氧水解池或接触氧化池，且回流比为101％～200％。本发明工艺能够提高有机硅生产高盐废水生化处理COD降解效率，并缩短有机硅废水生化处理停留时间，提高有机硅废水生化段稳定性并降低投资。