一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置及方法，属于光学测量技术领域，解决了现有的装置对表面缺陷的检测识别较为困难，且存在大量误差的问题。所述装置包括激光照射装置、被检测样品装置、激光接收装置、图像观察装置、电路控制装置和显示与数据处理装置；所述被检测样品装置一侧设置有激光照射装置，另一侧设置有激光接收装置；所述被检测样品装置、激光接收装置、图像观察装置和显示与数据处理装置均与电路控制装置连接；所述激光接收装置包括S波光电探测器和P波光电探测器；所述S波光电探测器和P波光电探测器均与电路控制装置连接；所述显示与数据处理装置包括数据处理设备；所述数据处理设备与电路控制装置连接。