发明公开
CN116113290A 用于沉积掩模的装载装置
审中-实审
- 专利标题： 用于沉积掩模的装载装置
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申请号： CN202211392126.9申请日： 2022-11-08
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公开(公告)号： CN116113290A公开(公告)日： 2023-05-12
- 发明人: 洪京浩 , 金明圭 , 朴庄坤 , 俞硕范 , 李东载
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王达佐; 刘铮
- 优先权： 10-2021-0154322 20211110 KR
- 主分类号： H10K71/16
- IPC分类号： H10K71/16 ; H10K50/10 ; C23C14/04
摘要：
用于沉积掩模的装载装置包括夹持在第一方向上延伸的掩模的夹持器以及转移掩模并包括第一吸附部、第二吸附部以及连接至第一吸附部和第二吸附部的连接部的拾取器。在拾取器转移掩模的情况下，第一吸附部吸附掩模的端部，第二吸附单元吸附掩模的端部之间的部分，并且夹持器在第一吸附部和第二吸附部之间夹持掩模。
