本公开提供一种微型泵阵列器件及其制备方法。该微型泵阵列器件包括：多个微型泵，具有体积可变的泵腔，所述泵腔具有入口以及出口，所述泵腔由相对设置的第一横部、第二横部，以及侧壁环绕形成，所述微型泵阵列器件可通过控制以下条件的至少之一，令流体经第一方向流动：所述入口和所述出口的位置；以及第一流道的形状和第二流道的形状，其中，所述第一流道以及所述第二流道位于横部远离所述泵腔的一侧。该微型泵阵列器件通过对泵腔的出口和入口、流道等参数的设定，可利用流体力学实现流体的定向流动，从而可省去微型泵的开关阀体结构，有利于该微型泵阵列器件的小型化。