- 专利标题： 光谱设备、使用光谱设备的光谱方法以及使用光谱设备制造半导体存储器件的方法
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申请号： CN202211226878.8申请日： 2022-10-09
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公开(公告)号： CN116136390A公开(公告)日： 2023-05-19
- 发明人: 金宰湖 , 金锡 , 孙荣薰
- 申请人： 三星电子株式会社
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 吴晓兵; 倪斌
- 优先权： 10-2021-0158818 20211117 KR
- 主分类号： G01B11/06
- IPC分类号： G01B11/06 ; H01L21/66
摘要：
光谱设备可以包括：光源部分，被配置为向目标对象发射第一光，光源部分包括主光源和多个辅助光源；衍射部分，包括衍射光栅，该衍射光栅被配置为衍射基于第一光从目标对象反射而产生的第二光，衍射光栅被配置为产生第三光，该第三光是经衍射的第二光；检测部分，被配置为检测第三光；以及分析部分，连接到检测部分。检测部分可以包括致动器和多个像素。多个辅助光源可以被配置为发射不同波长的光线。致动器可以被配置为旋转并移动检测部分。
