发明公开
- 专利标题： 多晶硅掺杂产线稳定性的确定方法及终端设备
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申请号： CN202310165168.7申请日： 2023-02-24
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公开(公告)号： CN116151007A公开(公告)日： 2023-05-23
- 发明人: 王静 , 李倩 , 张树骞 , 张东升 , 吝占胜 , 张红妹 , 李青娟 , 魏双双 , 刘新玉 , 于波 , 何广川
- 申请人： 英利能源发展(保定)有限公司 , 英利能源发展有限公司
- 申请人地址： 河北省保定市满城区建业路003号高技术服务产业园研究中心2层;
- 专利权人： 英利能源发展(保定)有限公司,英利能源发展有限公司
- 当前专利权人： 英利能源发展(保定)有限公司,英利能源发展有限公司
- 当前专利权人地址： 河北省保定市满城区建业路003号高技术服务产业园研究中心2层;
- 代理机构： 河北国维致远知识产权代理有限公司
- 代理商 秦春芳
- 主分类号： G06F30/20
- IPC分类号： G06F30/20 ; G06Q50/04 ; C30B31/00 ; G06F111/08 ; G06F119/02 ; G06F119/14 ; G06F111/04 ; G06F119/08
摘要：
本发明提供一种多晶硅掺杂产线稳定性的确定方法及终端设备。该方法包括：获取目标产线上拾取的第一预设数量的硅片的ECV曲线；根据第一预设数量的硅片的ECV曲线，确定第一预设数量的硅片的质量是否存在异常；若存在异常，则确定目标产线不稳定。本发明根据硅片的ECV曲线对硅片进行分析，确定产线是否存在异常，结果准确，方法简单有效。
