发明授权
- 专利标题: SiC抛光液台面回收装置
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申请号: CN202310450859.1申请日: 2023-04-25
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公开(公告)号: CN116160365B公开(公告)日: 2023-08-08
- 发明人: 林义复 , 林育仪 , 张炜国 , 余明轩
- 申请人: 通威微电子有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内
- 专利权人: 通威微电子有限公司
- 当前专利权人: 通威微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内
- 代理机构: 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 梁晓婷
- 主分类号: B24B57/02
- IPC分类号: B24B57/02 ; B24B57/00
摘要:
本发明的实施例提供了一种SiC抛光液台面回收装置,涉及抛光技术领域,该SiC抛光液台面回收装置包括抛光台、抛光盘和流体搅拌机构,抛光台上设置有回收沟槽,抛光盘可转动地设置在抛光台上,流体搅拌机构设置在抛光台上;其中,回收沟槽的底壁上设置有多个第一流体喷孔,流体搅拌机构连通至多个第一流体喷孔,并通过多个第一流体喷孔朝向回收沟槽喷射流体,以搅拌回收沟槽中的抛光液。相较于现有技术,本发明提供的SiC抛光液台面回收装置,通过喷射流体的方式实现搅拌,使得抛光液始终处于流动状态,并且流体喷射口位于底壁上,避免了抛光液中的固体颗粒沉积,提升了抛光液中固体颗粒的均匀性,保证了抛光液的回收质量。
公开/授权文献
- CN116160365A SiC抛光液台面回收装置 公开/授权日:2023-05-26