SiC抛光液台面回收装置
摘要:
本发明的实施例提供了一种SiC抛光液台面回收装置,涉及抛光技术领域,该SiC抛光液台面回收装置包括抛光台、抛光盘和流体搅拌机构,抛光台上设置有回收沟槽,抛光盘可转动地设置在抛光台上,流体搅拌机构设置在抛光台上;其中,回收沟槽的底壁上设置有多个第一流体喷孔,流体搅拌机构连通至多个第一流体喷孔,并通过多个第一流体喷孔朝向回收沟槽喷射流体,以搅拌回收沟槽中的抛光液。相较于现有技术,本发明提供的SiC抛光液台面回收装置,通过喷射流体的方式实现搅拌,使得抛光液始终处于流动状态,并且流体喷射口位于底壁上,避免了抛光液中的固体颗粒沉积,提升了抛光液中固体颗粒的均匀性,保证了抛光液的回收质量。
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