发明公开
CN116162891A 用于显示装置的沉积设备
审中-公开
- 专利标题： 用于显示装置的沉积设备
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申请号： CN202211468380.2申请日： 2022-11-22
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公开(公告)号： CN116162891A公开(公告)日： 2023-05-26
- 发明人: 俞硕范 , 洪京浩 , 金明圭 , 朴庄坤 , 李东载
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构： 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 韩芳; 尹淑梅
- 优先权： 10-2021-0163244 20211124 KR
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04 ; C23C14/24
摘要：
提供了一种用于显示装置的沉积设备。根据实施例的掩模组件包括：支撑框架，包括至少四条边；第一框架，设置在支撑框架上并且在第一方向上延伸；第二框架，设置在支撑框架上并且在与第一方向交叉的第二方向上延伸；以及掩模片，设置在支撑框架上并且包括至少一个开口。支撑框架的至少一条边包括设置在该边的第一边缘处的第一突出部、设置在该边的第二边缘处的第二突出部以及设置在第一突出部与第二突出部之间的凹部。
IPC分类:
