铬蚀刻液、铬蚀刻液的制备方法及铬蚀刻液的回收方法
摘要:
本申请公开铬蚀刻液、铬蚀刻液的制备方法及铬蚀刻液的回收方法,涉及蚀刻液领域。所述铬蚀刻液按重量份包括硝酸铈铵10‑45份、非氧化性酸2‑8份、过氧化氢3‑12份、稳定剂1‑3份、蚀刻抛光剂0.5‑1.5份、消泡剂0.2‑0.7份、去离子水50‑90份。所述铬蚀刻液的制备方法包括:将硝酸铈铵加入去离子水中充分溶解混匀,加入非氧化性酸、过氧化氢以及稳定剂,继续混合均匀,得到预混物A;将蚀刻抛光剂、消泡剂加入去离子水中,充分混合均匀,得到预混物B;将预混物A加入到预混物B中,混合均匀后,使用滤网进行过滤,即得到本发明提供的铬蚀刻液。本申请能够有效提高蚀刻反应速率,蚀刻后衬底表面平整光亮,提升了蚀刻质量,并且能够实现铬蚀刻液的回收再利用。
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