本发明涉及一种RFQ固态功率源的低电平测量与控制系统及方法，其特征在于，包括射频前端系统和数字低电平系统；所述射频前端系统的RF输入端口连接RFQ固态功率源的定向耦合器，所述射频前端系统的RF输出端口连接RFQ固态功率源的激励输入端口，所述射频前端系统用于实时获取RFQ固态功率源中合成级功率的RF入射功率信号和RF反射功率信号并进行下变频，得到对应中频信号；所述数字低电平系统连接所述射频前端系统，所述数字低电平系统连接用于对所述射频前端系统得到的中频信号进行计算，得到RFQ固态功率源的入射功率和反射功率以及功率保护信号，本发明可以广泛应用于质子直线加速器高频技术领域中。