本发明公开一种纳米晶软磁合金，所述纳米晶软磁合金的化学式为FeaSibBcNbdCueAlfMg，M为稀土元素Ce或Gd中的一种；其中，a+b+c+d+e+f+g＝100，74≤a≤80，10≤b≤12，4≤c≤6，1≤d≤3，0.5≤e≤1.5，0.5≤f≤2.5，0.5≤g≤2.5。本发明还公开了上述纳米晶软磁合金其制备方法和应用。本发明公开的纳米晶软磁合金限定了软磁合金的组成，同时在高温热处理的基础上加入微刻痕技术，进一步改善带材的磁畴结构，降低铁损，优化合金的软磁性能，其应用于高频变压器或无线充电时具有优异的效果。