本发明提供了一种位置度测量组件、装置及方法，其中，所述位置度测量组件包括：基准接触部，用于接触工件的基准部以形成测量基准；和测量接触部，用于接触工件的待测部并反馈所述待测部相对于所述基准部的位置度偏差；其中，所述基准接触部和测量接触部设置为能够分别沿相互平行的线性进给方向移动以接触工件，所述基准接触部和测量接触部的线性进给方向在测量平面上共面；所述测量接触部设置为能够在垂直于所述测量平面的偏移方向上移动，其中，所述测量接触部包括监测单元以反馈所述移动的距离。所述位置度测量装置包括：位置度测量组件；和工件定位组件，用于确定工件与所述位置度测量组件的相对位置。本发明具有测量效率高、精度高的优点。