发明授权
- 专利标题: 一种分子泵用红外温度标定装置
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申请号: CN202211695102.0申请日: 2022-12-28
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公开(公告)号: CN116183029B公开(公告)日: 2023-11-28
- 发明人: 白宇鹏 , 许鹏 , 李赏
- 申请人: 北京中科科仪股份有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村北二条13号
- 专利权人: 北京中科科仪股份有限公司
- 当前专利权人: 北京中科科仪股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村北二条13号
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 郭冬雪
- 主分类号: G01J5/02
- IPC分类号: G01J5/02 ; G01J5/04
摘要:
本发明公开了一种分子泵用红外温度标定装置,包括:探测单元,与分子泵的涡轮表面相贴合,用于探测涡轮表面的温度并转换为电信号后输出;浮动定位单元,用于将探测单元弹性止抵并保持在涡轮的表面上,浮动定位单元包括固定组件和浮动组件;固定组件固定安装在分子泵上;探测单元通过浮动组件活动安装在固定组件的端部上,浮动组件适于向探测单元施加趋于涡轮方向的弹性偏压力以将探测单元弹性止抵在涡轮的表面。本发明中,固定组件固定安装在分子泵上,定位可靠、节省人力;另外,即使安装时固定组件相对于分子泵发生较小倾斜,浮动组件可向探测单元施加趋于涡轮方向的弹性偏压力,使得探测单元被弹性止抵在涡轮的表面上。
公开/授权文献
- CN116183029A 一种分子泵用红外温度标定装置 公开/授权日:2023-05-30