- 专利标题: 一种太赫兹MEMS频率可重构滤波器及其实现方法
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申请号: CN202310244621.3申请日: 2023-03-13
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公开(公告)号: CN116247401B公开(公告)日: 2024-10-29
- 发明人: 于伟华 , 彭洪 , 吕昕 , 谢会开 , 刘浩 , 王新悦
- 申请人: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 北京理工大学
- 申请人地址: 重庆市沙坪坝区西永微电园研发楼3期1号楼2单元;
- 专利权人: 北京理工大学重庆微电子研究院,北京理工大学
- 当前专利权人: 北京理工大学重庆微电子研究院,北京理工大学
- 当前专利权人地址: 重庆市沙坪坝区西永微电园研发楼3期1号楼2单元;
- 代理机构: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司
- 代理商 赵磊
- 主分类号: H01P1/208
- IPC分类号: H01P1/208 ; B81B7/02
摘要:
本发明提供了一种太赫兹MEMS频率可重构滤波器及其实现方法,包括波导组件和MEMS位移执行器,波导组件构成一个N阶太赫兹滤波器,MEMS位移执行器至少形成N个位移量可调的MEMS可调谐平面,MEMS可调谐平面通过调节位移量来同步等值改变所述N阶太赫兹滤波器的N个矩形谐振腔的宽度,以实现太赫兹滤波器的中心频率可重构。本发明具有大范围连续调节太赫兹波工作频率的功能,解决了当前太赫兹射频前端系统中工作频率调节困难且频率调节不连续的问题;利用这种MEMS微型可动结构调节太赫兹滤波器的工作频率,解决了当前太赫兹可重构滤波器性能差且体积大的问题;通过同步对称改变太赫兹波导滤波器谐振宽度的方法,实现太赫兹滤波器的工作频率连续可调而工作带宽保持不变。
公开/授权文献
- CN116247401A 一种太赫兹MEMS频率可重构滤波器及其实现方法 公开/授权日:2023-06-09