本发明属于准分子激光技术领域，具体涉及一种产生短脉冲准分子激光的装置及方法。其中的装置包括用于容纳混合气的微型气体腔(3)，通过将激光(1)聚焦到微型气体腔(3)内与混合气相互作用发生非线性吸收，产生激光等离子体(4)，进而由激光等离子体(4)中产生准分子激光；混合气是惰性气体和卤素气体的混合物。本发明提出了一种利用激光泵浦惰性气体卤化物产生超短准分子激光的技术方案，克服了放电泵浦准分子激光腔和电子束泵浦准分子激光器难以直接输出亚纳秒短脉冲的局限，为超短超强准分子激光的产生提供了简单可靠的超短准分子种子光源，简化了传统的固体/液体‑气体准分子混联放大系统的复杂性。