一种可调恒力轴向浮动研抛装置
摘要:
本发明涉及非球面光学加工设备,具体地说是一种可调恒力轴向浮动研抛装置,机器人转接法兰的一侧与机器人末端相连,另一侧设有滑座,滑座的一侧与机器人转接法兰滑动连接,另一侧安装有伺服电机,伺服电机的输出端连接有小磨头;滑座的一侧设有两个气缸,两个气缸的缸体分别固定在机器人转接法兰上,伸缩杆分别与滑座相连,两个气缸作用于滑座的力相反;机器人转接法兰上安装有多孔板,多孔板上分别固定有分别通过管路与两个气缸A相连的调压阀A、调压阀B;机器人转接法兰上安装有反馈滑座相对于机器人转接法兰滑移位置的位移传感器。本发明浮动压力定量可调,加工效率高,特别适用于确定性抛光研究以及非球面和自由曲面光学元件的研发领域。
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