发明公开
- 专利标题: 一种可调恒力轴向浮动研抛装置
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申请号: CN202111527151.9申请日: 2021-12-14
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公开(公告)号: CN116262326A公开(公告)日: 2023-06-16
- 发明人: 贾勇 , 李刚 , 金玉奇
- 申请人: 中国科学院大连化学物理研究所
- 申请人地址: 辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号
- 专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号
- 代理机构: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
- 代理商 白振宇
- 主分类号: B24B13/00
- IPC分类号: B24B13/00 ; B24B41/00 ; B24B41/04 ; B24B49/00
摘要:
本发明涉及非球面光学加工设备,具体地说是一种可调恒力轴向浮动研抛装置,机器人转接法兰的一侧与机器人末端相连,另一侧设有滑座,滑座的一侧与机器人转接法兰滑动连接,另一侧安装有伺服电机,伺服电机的输出端连接有小磨头;滑座的一侧设有两个气缸,两个气缸的缸体分别固定在机器人转接法兰上,伸缩杆分别与滑座相连,两个气缸作用于滑座的力相反;机器人转接法兰上安装有多孔板,多孔板上分别固定有分别通过管路与两个气缸A相连的调压阀A、调压阀B;机器人转接法兰上安装有反馈滑座相对于机器人转接法兰滑移位置的位移传感器。本发明浮动压力定量可调,加工效率高,特别适用于确定性抛光研究以及非球面和自由曲面光学元件的研发领域。