一种用于显影液的含桥环结构的封端聚醚
Abstract:
本发明公开了一种含桥环结构的封端聚醚及其应用。该封端聚醚是一种含有桥环结构的表面活性剂,其是将1‑甲基‑4‑(1‑甲基乙基)‑1,3‑己二烯和顺丁烯二醇通过狄尔斯‑阿尔德反应生成含桥环结构的二醇中间产物A,然后在高压条件下先后与环氧丙烷和环氧乙烷发生聚合反应,生成含桥环结构的双子型聚醚,再将所得聚醚与乙酸酐进行反应而制得。本发明制备的含桥环结构的封端聚醚对光刻胶有良好的分散作用,双子型的结构特点使其具备更低的CMC浓度,因而在显影液中有更好的应用。
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