发明公开
CN116286222A TIN拉回和清洁组合物
审中-实审
- 专利标题： TIN拉回和清洁组合物
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申请号： CN202310303019.2申请日： 2015-05-12
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公开(公告)号： CN116286222A公开(公告)日： 2023-06-23
- 发明人: J·J-J·柯 , T·W·于 , Y-P·郑
- 申请人： 巴斯夫欧洲公司
- 申请人地址： 德国莱茵河畔路德维希港
- 专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人： 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人地址： 德国莱茵河畔路德维希港
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 张双双; 刘金辉
- 优先权： 14168103.1 20140513 EP
- 主分类号： C11D7/34
- IPC分类号： C11D7/34 ; C11D7/26 ; C11D7/04 ; C11D7/32 ; C11D7/50 ; C11D7/36 ; C11D7/60 ; C09K13/00 ; C23F11/04 ; C23F1/18 ; B08B3/08
摘要：
本发明涉及一种可用于控制TiN相对于W的蚀刻速率且从表面移除任何残余物，例如可能含有氟(F)的有机或无机残余物的新组合物，该组合物包含a)脂族或芳族磺酸；b)一种或多种抑制剂；c)非质子性溶剂；d)二醇醚；和e)水。本发明还涉及一种包含该组合物与氧化剂和任选地该氧化剂的稳定剂的组合的套组，及其用途。
