一种单晶硅生产装置及生产方法
Abstract:
本发明属于单晶硅生产技术领域,具体是一种单晶硅生产装置及生产方法;所述罐体的一侧设有控制器,所述罐体的顶部均匀阵列设有多组进气孔,所述罐体的内部设有加热器,所述加热器内部通过驱动组件转动连接有石英坩埚,所述石英坩埚的内部设有籽晶,所述籽晶的底部设有单晶硅;所述罐体的内壁设有压环,所述压环的底部均匀阵列设有多组液压伸缩杆,所述液压伸缩杆的底部输出端设有保温盖,所述保温盖的底部设有导流筒;该装置稳定性强,对单晶硅的生产效率高,生产质量好,满足不同环境下对单晶硅的生产需求,操作简单高效,调节精度高,提高单晶硅生产过程中的稳定性和竖直性,避免单晶硅发生晃动进而降低其自身的生产质量。
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