Invention Grant
- Patent Title: 一种单晶硅生产装置及生产方法
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Application No.: CN202310269700.XApplication Date: 2023-03-20
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Publication No.: CN116288708BPublication Date: 2023-08-11
- Inventor: 章勇 , 黄涛明 , 刘存华
- Applicant: 鸿新新能源科技(云南)有限公司
- Applicant Address: 云南省大理白族自治州祥云县祥城镇财富工业园区
- Assignee: 鸿新新能源科技(云南)有限公司
- Current Assignee: 鸿新新能源科技(云南)有限公司
- Current Assignee Address: 云南省大理白族自治州祥云县祥城镇财富工业园区
- Agency: 北京中北知识产权代理有限公司
- Agent 李真真
- Main IPC: C30B29/06
- IPC: C30B29/06 ; C30B15/30 ; C30B15/14 ; C30B15/20
Abstract:
本发明属于单晶硅生产技术领域,具体是一种单晶硅生产装置及生产方法;所述罐体的一侧设有控制器,所述罐体的顶部均匀阵列设有多组进气孔,所述罐体的内部设有加热器,所述加热器内部通过驱动组件转动连接有石英坩埚,所述石英坩埚的内部设有籽晶,所述籽晶的底部设有单晶硅;所述罐体的内壁设有压环,所述压环的底部均匀阵列设有多组液压伸缩杆,所述液压伸缩杆的底部输出端设有保温盖,所述保温盖的底部设有导流筒;该装置稳定性强,对单晶硅的生产效率高,生产质量好,满足不同环境下对单晶硅的生产需求,操作简单高效,调节精度高,提高单晶硅生产过程中的稳定性和竖直性,避免单晶硅发生晃动进而降低其自身的生产质量。
Public/Granted literature
- CN116288708A 一种单晶硅生产装置及生产方法 Public/Granted day:2023-06-23
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IPC分类: