发明公开
- 专利标题: 一种面外平动、转动双自由度的微振动精密测量装置及方法
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申请号: CN202310249457.5申请日: 2023-03-15
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公开(公告)号: CN116295032A公开(公告)日: 2023-06-23
- 发明人: 杨荣国 , 成亚哲 , 王宇 , 陈刚 , 孙恒信 , 刘奎 , 郜江瑞
- 申请人: 山西大学
- 申请人地址: 山西省太原市坞城路92号
- 专利权人: 山西大学
- 当前专利权人: 山西大学
- 当前专利权人地址: 山西省太原市坞城路92号
- 代理机构: 太原申立德知识产权代理事务所
- 代理商 王芳
- 主分类号: G01B11/02
- IPC分类号: G01B11/02 ; G01C9/00
摘要:
本发明提供了一种面外平动、转动双自由度的微振动精密测量装置及方法。该装置包括激光器、第一半波片、第一偏振分束器、第二半波片、模式清洁器、第二偏振分束器、法拉第旋光器、第三半波片、Sagnac干涉仪、不等臂马赫‑曾德尔干涉仪、微振动产生单元、光束调节单元、光接收探测单元以及数据处理单元。微振动产生单元产生的转动会破坏Sagnac干涉仪的对称性,平动不会破坏Sagnac干涉仪的对称性,因此可分离平动与转动信息。平动信息会随着激光基模反射进入不等臂‑马赫曾德尔干涉仪中,从而实现同时性测量平面外的平动与转动。本发明在测量过程中,几乎获得了转动和平动的所有信息,光强损耗在10%以内。