一种角速度检测装置和微机械陀螺仪
摘要:
本公开提出一种角速度检测装置和微机械陀螺仪,涉及角速度检测技术领域,其中角速度检测装置包括:基板;多个检测模块,多个检测模块沿圆的圆心呈中心对称,且检测模块沿圆的直径呈轴对称,检测模块包括:质量块、协动梁和驱动检测单元,质量块悬置在基板上,协动梁包括:多个弹性条,弹性条沿圆的径向设置,且多个弹性条依次首尾相接,多个检测模块的协动梁相连后形成星型结构。在本公开的一种角速度检测装置和微机械陀螺仪中,使得多个质量块在基板上形成四周支撑中心悬空的结构,从而使得质量块在基板上的稳定性更高,对随机振动的抵抗能力更强,进而保证了整体对角速度检测的精确性,有效提高了微机械陀螺仪的性能。
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