发明授权
- 专利标题: 一种角速度检测装置和微机械陀螺仪
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申请号: CN202310595556.9申请日: 2023-05-25
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公开(公告)号: CN116295319B公开(公告)日: 2023-08-04
- 发明人: 尤政 , 欧阳晨光 , 赵开春
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华园
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 韩海花
- 主分类号: G01C19/00
- IPC分类号: G01C19/00 ; G01C19/5691
摘要:
本公开提出一种角速度检测装置和微机械陀螺仪,涉及角速度检测技术领域,其中角速度检测装置包括:基板;多个检测模块,多个检测模块沿圆的圆心呈中心对称,且检测模块沿圆的直径呈轴对称,检测模块包括:质量块、协动梁和驱动检测单元,质量块悬置在基板上,协动梁包括:多个弹性条,弹性条沿圆的径向设置,且多个弹性条依次首尾相接,多个检测模块的协动梁相连后形成星型结构。在本公开的一种角速度检测装置和微机械陀螺仪中,使得多个质量块在基板上形成四周支撑中心悬空的结构,从而使得质量块在基板上的稳定性更高,对随机振动的抵抗能力更强,进而保证了整体对角速度检测的精确性,有效提高了微机械陀螺仪的性能。
公开/授权文献
- CN116295319A 一种角速度检测装置和微机械陀螺仪 公开/授权日:2023-06-23