发明公开
CN116324611A 辐射源布置和量测装置
审中-公开
- 专利标题： 辐射源布置和量测装置
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申请号： CN202180053627.1申请日： 2021-08-03
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公开(公告)号： CN116324611A公开(公告)日： 2023-06-23
- 发明人: 阿里·阿尔萨卡 , A·帕特尔 , 帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔 , A·阿布多尔万德 , 鲍拉斯·安东尼斯·安德里亚斯·特尤尼森 , W·F·科安达尔姆
- 申请人： ASML荷兰有限公司 , ASML控股股份有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温;
- 专利权人： ASML荷兰有限公司,ASML控股股份有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司,ASML控股股份有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温;
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 胡良均
- 优先权： 20195746.1 20200911 EP 63/074,000 20200903 US
- 国际申请： PCT/EP2021/071634 2021.08.03
- 国际公布： WO2022/048843 EN 2022.03.10
- 进入国家日期： 2023-02-28
- 主分类号： G02F1/35
- IPC分类号： G02F1/35
摘要：
描述了一种辐射源布置，包括：辐射源，辐射源可操作以产生包括源能量脉冲的源辐射；以及至少一个非线性能量滤波器，非线性能量滤波器可操作以对源辐射进行滤波，以获得包括经滤波的能量脉冲的经滤波的辐射。至少一个非线性能量滤波器可操作以，通过使能量水平对应于源能量脉冲的能量分布的两个端部中的一个的源能量脉冲的能量水平比能量水平对应于能量分布的峰值的源能量脉冲的能量水平降低更大量，来减小经滤波的辐射的能量变化。
