一种耐温180℃酸化用缓蚀剂体系及其制备方法与应用
摘要:
本发明公开了一种耐温180℃酸化用缓蚀剂体系及其制备方法与应用。该缓蚀剂体系包括:缓蚀A剂10‑20wt%、缓蚀B剂10‑20wt%、缓蚀C剂3‑8wt%、缓蚀增效剂5‑20wt%、表面活性剂3‑10wt%以及余量溶剂;所述缓蚀A剂通过包括对二甲胺基苯甲醛、丙酮、二乙胺、正丁醇和盐酸按照质量比为(10‑15):(25‑30):(30‑40):(10‑20):(1‑5)进行反应制得;所述缓蚀B剂通过包括8‑羟基喹啉、氯甲基萘和N,N‑二甲基甲酰胺按照质量比为(25‑40):(25‑40):(30‑50)进行反应制得;所述缓蚀C剂为2,6‑二氨基嘌呤、2‑氨基‑6‑巯基嘌呤或2,6‑二巯基嘌呤。
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