一种高韧性过渡族金属氮化物TiAl(Ni)NX硬质涂层及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种高韧性过渡族金属氮化物TiAl(Ni)NX硬质涂层及其制备方法,属于防护涂层技术领域。该涂层采用多弧离子镀进行双靶或多靶共沉积技术制备,过渡族金属氮化物TiAl(Ni)NX硬质涂层中,各元素原子比例关系为:Al/(Ti+Al+Ni)=0.1~0.5,Ni/(Ti+Al+Ni)=0.05~0.4,X=N/(N+Ti+Al+Ni)=0.3~0.5,涂层厚度在2~30μm范围内,硬度1450Hv以上。本发明的涂层制备方法可获得Ni含量较高的Ti(Al,Ni)N单相硬质涂层,涂层兼具高韧性、高硬度、优良的抗裂纹扩展能力及抗高温氧化性能等特点,可大幅提高硬质涂层应用的可靠性。该涂层可应用于硬质合金切削刀具、不锈钢以及钛合金等材料的耐磨防护。
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