发明授权
- 专利标题: 一种晶圆均匀电镀设备
-
申请号: CN202310649101.0申请日: 2023-06-02
-
公开(公告)号: CN116377548B公开(公告)日: 2023-08-22
- 发明人: 肖锦成
- 申请人: 苏州尊恒半导体科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号8号房
- 专利权人: 苏州尊恒半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 苏州尊恒半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号8号房
- 代理机构: 无锡风创知识产权代理事务所
- 代理商 刘永凡
- 主分类号: C25D17/06
- IPC分类号: C25D17/06 ; C25D17/08 ; C25D21/10 ; C25D5/08 ; C25D5/54 ; C25D7/12
摘要:
本发明公开了一种晶圆均匀电镀设备,涉及晶圆电镀技术领域,包括基座,所述基座的表面固定有电镀槽箱,且电镀槽箱靠近底部的一端开设有底腔,还包括靠板和混液组件,所述靠板设置在电镀槽箱的开口处,靠板的底端两侧均开设有预留通口,且靠板的一侧与电镀槽箱之间固定有一对撑板,所述靠板的另一侧固定有V状轨架,且V状轨架上开设有T形通槽,所述V状轨架上设置有挂具,所述T形通槽的一端内壁固定安装有多对等距离分布的棱柱块;本发明当从动转轴进行转动时,能够带动螺旋绞片进行转动,配合设置的阔头套筒,能够使得电镀液鼓向锥头端,并使电镀液经过锥头端进行分散;设置的多个分流弧片,能够提高阔头套筒中输出电镀液的分散均匀性。
公开/授权文献
- CN116377548A 一种晶圆均匀电镀设备 公开/授权日:2023-07-04