一种晶圆均匀电镀设备
摘要:
本发明公开了一种晶圆均匀电镀设备,涉及晶圆电镀技术领域,包括基座,所述基座的表面固定有电镀槽箱,且电镀槽箱靠近底部的一端开设有底腔,还包括靠板和混液组件,所述靠板设置在电镀槽箱的开口处,靠板的底端两侧均开设有预留通口,且靠板的一侧与电镀槽箱之间固定有一对撑板,所述靠板的另一侧固定有V状轨架,且V状轨架上开设有T形通槽,所述V状轨架上设置有挂具,所述T形通槽的一端内壁固定安装有多对等距离分布的棱柱块;本发明当从动转轴进行转动时,能够带动螺旋绞片进行转动,配合设置的阔头套筒,能够使得电镀液鼓向锥头端,并使电镀液经过锥头端进行分散;设置的多个分流弧片,能够提高阔头套筒中输出电镀液的分散均匀性。
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