正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜

发明公开

CN116382035A 正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜审中-公开

摘要：

本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。由于该正型光敏树脂组合物包含在其分子内引入了桥结构的硅氧烷共聚物，因此有可能显影后形成具有优异的膜保留率和改进的表面浊度现象的固化膜。

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IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/004	.感光材料（G03F7/12，G03F7/14优先）
G03F7/075	..含硅的化合物