本发明公开了晶圆清洗干燥装置，涉及晶圆干燥设备技术领域，包括干燥桶，所述干燥桶的内侧设置有支座，所述支座的一端设置有翻转辅助器，所述支座的内侧固定连接有连盘座，所述支座的底端安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端连接有第一连轴，吹气干燥机构，限位防脱件。本发明通过设置翻转辅助器，第一驱动电机输出端驱动第二锥齿轮进行转动，从而驱动第一锥齿轮带动旋转轴进行转动，进而通过支座带动过滤网桶箱进行翻转，以此使得过滤网桶箱内部晶圆进行翻动，以此避免晶圆对接在一处，从而能够辅助过滤网桶箱自转将晶圆上的液体甩出到外界，进而提高了对晶圆的干燥效率。