压力传感探头与压力传感系统
摘要:
本发明涉及一种压力传感探头与压力传感系统。压力传感探头包括主体及膜体组件。其中,所述主体设置气腔。所述膜体组件包括支撑环与石墨烯膜片,所述支撑环设置通孔;所述石墨烯膜片设置于所述支撑环的连接面,所述石墨烯膜片罩覆于所述通孔,所述膜体组件密封设置于所述气腔开口处;所述石墨烯膜片的直径‑厚度比的范围为1.0×106‑9.9×106,所述石墨烯膜片与所述支撑环相抵接的部分的宽度大于3mm。压力传感探头直径‑厚度比达到了106数量级,在进行压力探测时,其灵敏度可以达到200μm/Pa的高灵敏度。而且可探测的压力覆盖范围由1.25mPa至100Pa,压力覆盖范围较宽。压力传感探头进行检测时,石墨烯膜片不易与支撑环分离,确保压力传感探头的可靠性。
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