发明公开
- 专利标题: 压力传感探头与压力传感系统
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申请号: CN202310192525.9申请日: 2023-03-02
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公开(公告)号: CN116399501A公开(公告)日: 2023-07-07
- 发明人: 刘科海 , 赵灌中 , 姚佳 , 尚俊峰 , 杨方友 , 郑跃滨 , 陈镔 , 刘开辉 , 王恩哥
- 申请人: 松山湖材料实验室 , 养生堂有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋;
- 专利权人: 松山湖材料实验室,养生堂有限公司
- 当前专利权人: 松山湖材料实验室,养生堂有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋;
- 代理机构: 华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 何锋
- 主分类号: G01L7/08
- IPC分类号: G01L7/08 ; G01L9/00 ; G01H9/00
摘要:
本发明涉及一种压力传感探头与压力传感系统。压力传感探头包括主体及膜体组件。其中,所述主体设置气腔。所述膜体组件包括支撑环与石墨烯膜片,所述支撑环设置通孔;所述石墨烯膜片设置于所述支撑环的连接面,所述石墨烯膜片罩覆于所述通孔,所述膜体组件密封设置于所述气腔开口处;所述石墨烯膜片的直径‑厚度比的范围为1.0×106‑9.9×106,所述石墨烯膜片与所述支撑环相抵接的部分的宽度大于3mm。压力传感探头直径‑厚度比达到了106数量级,在进行压力探测时,其灵敏度可以达到200μm/Pa的高灵敏度。而且可探测的压力覆盖范围由1.25mPa至100Pa,压力覆盖范围较宽。压力传感探头进行检测时,石墨烯膜片不易与支撑环分离,确保压力传感探头的可靠性。