本发明属于有色金属冶金技术领域，具体涉及一种短流程制备高纯氧化镓的方法，本发明提供的高纯氧化镓制备方法设计科学合理，在常压条件下，将高纯金属镓加入去离子水中，同时向体系中加入双氧水，在机械搅拌条件下使金属镓转化为羟基氧化镓；采用有机溶剂对羟基氧化镓前驱体进行预处理，然后对其高温煅烧制备微观形貌和颗粒尺寸均一的高纯β‑Ga2O3粉体材料。本发明能够克服现有氧化镓制备工艺流程长、试剂消耗量大、对设备要求高、煅烧制备氧化镓粉体过程颗粒团聚、长大、失去表面活性等问题，技术方案具有流程短、效率高、对设备要求低、操作简单、能耗低、成本低等特点，整个生产过程不产废气、废渣、废水，对环境友好。