本发明提供了一种硅烷类化合物、催化剂组合物及其制备方法和应用。该硅烷类化合物具有以下通式(I)所示的结构，其中，R1、R2相同或不同，R1和R2各自独立地选自氢原子、卤素、取代或未取代的烷基、环烷基、芳基、芳烷基、烷基芳基、含杂原子的环；R3、R4、R5各自独立地选自C1‑C8的直链或支链烷基、C1‑C8的直链或支链烷氧基。本发明的硅烷类化合物作为催化剂组合物的外给电子体应用于烯烃聚合反应时，可使催化体系具有良好的氢调敏感性，并可获得较高收率、较高等规度的烯烃聚合物。