发明公开
CN116435322A 光电基板及其制备方法
审中-实审
- 专利标题: 光电基板及其制备方法
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申请号: CN202310487917.8申请日: 2023-04-28
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公开(公告)号: CN116435322A公开(公告)日: 2023-07-14
- 发明人: 姜振武 , 侯学成 , 庞凤春 , 张冠
- 申请人: 北京京东方传感技术有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区西环中路8号2幢C区3层C-301、C-302;
- 专利权人: 北京京东方传感技术有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 北京京东方传感技术有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区西环中路8号2幢C区3层C-301、C-302;
- 代理机构: 北京安信方达知识产权代理有限公司
- 代理商 蒋冬梅; 曲鹏
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
本公开实施例提供一种光电基板及其制备方法。所述光电基板包括基底、设置在基底上的至少一个晶体管和至少一条数据线;至少一个晶体管包括栅电极、有源层以及与有源层连接的第一极和第二极,栅电极设置在基底上,有源层设置在覆盖栅电极的第一绝缘层上,第一极靠近第二极的第一端设置在有源层上,第一极远离第二极的第二端与数据线连接,第二极靠近第一极的第一端设置在有源层上;数据线远离基底一侧的表面与基底表面之间具有第一高度,第一极远离基底一侧的表面与基底表面之间具有第二高度,第一高度与第二高度之间的差值小于或等于数据线厚度的40%至50%,可以精确控制数据线以及晶体管尺寸,提高数据线和晶体管尺寸均一性,提高产品合格率。
IPC分类: