光电基板及其制备方法
摘要:
本公开实施例提供一种光电基板及其制备方法。所述光电基板包括基底、设置在基底上的至少一个晶体管和至少一条数据线;至少一个晶体管包括栅电极、有源层以及与有源层连接的第一极和第二极,栅电极设置在基底上,有源层设置在覆盖栅电极的第一绝缘层上,第一极靠近第二极的第一端设置在有源层上,第一极远离第二极的第二端与数据线连接,第二极靠近第一极的第一端设置在有源层上;数据线远离基底一侧的表面与基底表面之间具有第一高度,第一极远离基底一侧的表面与基底表面之间具有第二高度,第一高度与第二高度之间的差值小于或等于数据线厚度的40%至50%,可以精确控制数据线以及晶体管尺寸,提高数据线和晶体管尺寸均一性,提高产品合格率。
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