本申请涉及医疗器械技术领域，提供了一种灭菌器的尾气净化装置及过氧化氢等离子灭菌器，包括第一过滤组件，具有进气端，用于接收待净化气体并对所述待净化气体进行第一级过滤；连通组件，所述连通组件的一端与所述第一过滤组件连通；电离组件，与所述连通组件背离所述第一过滤组件的一端连通，对经过所述第一级过滤后的气体进行电离；第二过滤组件，与所述电离组件连通，对经过电离后的待净化气体进行第二级过滤，且所述第二过滤组件背离所述电离组件的一端设有排气口。本申请通过利用两级过滤以及电离组件的电离，达到改善气体净化效果的目的，降低过氧化氢废气或油气混合物排放造成环境污染的风险。