本发明涉及压力传感器技术领域，具体公开了一种高频动态MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，高频动态MEMS压阻式压力传感器包括包括基底、第一衬底和压力敏感薄膜，压力敏感薄膜设置在第一衬底上，第一衬底设置在所述基底上；压力敏感薄膜包括压敏电阻、欧姆接触区、第一钝化层、第二钝化层、压敏电极层、第三钝化层、第一驱动电极层、第一介电层、第二驱动电极层、第四钝化层、第五钝化层、第一应变电极层和第二介电层。本发明提供的高频动态MEMS压阻式压力传感器，能够有效提高MEMS压阻式压力传感器的高频动态特性，并且可以减小甚至消弭外界环境对传感器的冲击影响，降低压力传感器的零偏和温漂，提高压力传感器的精度。