一种刻蚀仿真方法，包括：提供包含t组参数组的初始刻蚀概率卷积模型；根据v个第一光刻设计图案的尺寸和v个第一刻蚀轮廓的尺寸，获取v组刻蚀偏差尺寸；跟据初始刻蚀概率卷积模型、v个第一光刻设计图案的尺寸、以及v组刻蚀偏差尺寸，获取隐式拟合增量迭代模型；根据隐式拟合增量迭代模型，进行若干次增量迭代处理，获取刻蚀概率阈值的值、以及t组参数组的值；将t组参数组的值代入初始刻蚀概率卷积模型，形成刻蚀概率卷积模型；基于刻蚀概率卷积模型和刻蚀概率阈值的值，构建二维刻蚀仿真模型；通过二维刻蚀仿真模型对待仿真掩模版图进行刻蚀仿真处理，获取待仿真掩模版图的仿真刻蚀轮廓数据。从而可进行高精确度的刻蚀仿真。