摘要:
本发明属于柔性可穿戴电子及微纳传感器件制造领域,具体涉及带有微柱结构的全印刷柔性压力传感阵列及其制备方法。本发明压力传感阵列包括从上到下依次层叠设置的:上电极层、上绝缘层、上敏感层、间隔层、微柱结构敏感层、下绝缘层、下电极层。该阵列的上下电极均印刷敏感层,有利于防止上下电极间的短路发生;下电极印刷微柱结构,有利于提升传感器的灵敏度和检测范围;间隔层的印刷避免了上下敏感层在无压力状态下接触,极大的降低了阵列的初始电信号,同时,间隔层加热互联,实现了阵列的柔性封装,保证了阵列的超高柔性,以适应各种形式的皮表粘附,拓展了柔性阵列的人体皮表的应用。
公开/授权文献
- CN116481683A 带有微柱结构的全印刷柔性压力传感阵列及其制备方法 公开/授权日:2023-07-25