本发明涉及半导体制造过程中的温度湿度控制领域，尤其涉及精密恒温恒湿设备制冷温控系统的非过热度控制方法。所述的电子膨胀阀为驱动模式应用，利用蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值，实时的给予电子膨胀阀反馈，电子膨胀阀通过驱动反馈，直接控制蒸发器出口端设置的温度和湿度。该方法还包含将加热加湿的PID端口和制冷降除湿的PID形成串联关系的步骤。本专利克服了CN2018115226456所指示的技术缺陷，反而直接从蒸发器出风口设置的温度和湿度设定值直接对电子膨胀阀进行驱动控制。直接以结果为导向。此设计更够更加直观地控制制冷系统的温度和湿度。且开创性将双PID联控联合起来进行综合控制。