发明授权
- 专利标题: 研磨方法、研磨控制系统及研磨系统
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申请号: CN202310826828.1申请日: 2023-07-07
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公开(公告)号: CN116533133B公开(公告)日: 2023-09-22
- 发明人: 金文祥 , 周启航 , 李阿龙
- 申请人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
- 专利权人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
- 代理机构: 华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 姜晓云
- 主分类号: B24B37/10
- IPC分类号: B24B37/10 ; B24B37/005 ; B24B49/00 ; B24B1/00
摘要:
本申请涉及一种研磨方法、研磨控制系统及研磨系统。研磨方法包括:获取第一研磨平台及第二研磨平台对待研磨层的整体研磨去除速率;获取第三研磨平台对待研磨层的研磨去除速率;基于待研磨层的研磨去除总量、整体研磨去除速率及第三研磨平台对待研磨层的研磨去除速率,得到目标研磨时间;使用第一研磨平台、第二研磨平台及第三研磨平台依次对待研磨层进行研磨,第一研磨平台的研磨时间、第二研磨平台的研磨时间及第三研磨平台的研磨时间均为目标研磨时间。上述研磨方法可以提升第一研磨平台、第二研磨平台及第三研磨平台对待研磨层研磨的时间控制,可以有效避免第三研磨平台对待研磨层过研磨,从而提高产品的良率。
公开/授权文献
- CN116533133A 研磨方法、研磨控制系统及研磨系统 公开/授权日:2023-08-04