本发明涉及灌装系统领域，且公开了一种单通道HF水溶液灌装系统及其方法，有效的解决了目前超纯氟化氢和超纯水进料时，可能造成部分氟化氢挥发的问题，包括筒体，所述筒体的底端安装有排料管，排料管上安装有排料阀，筒体的两侧对称安装有原料进料组件，筒体的内部安装有混合防挥发组件，筒体的顶端安装有压力调节组件，原料进料组件包括对称安装于筒体两侧的侧管，侧管的顶端安装有进料管，其中一个进料管用于向筒体内部通入超纯氟化氢，本发明在存在反流时，原料作用在第二活动块靠近筒体的一侧，在推力和第一弹簧的弹力作用下，将第一活动块与限位环压紧，从而将进料槽一端紧闭，从而避免反流，方便使用。