本发明公开了一种洁净气源发生器，包括机柜，所述机柜内部底面设有储气罐，所述储气罐顶部对称设有空压机，所述空压机输出端均通过导管密封连接有缓冲罐，所述缓冲罐后部均设有用于散热的散热器，所述缓冲罐输出端通过导管密封连接有分离过滤器，所述分离过滤器输出端通过导管密封连接有筒体，所述筒体内部填充有对压缩空气进行干燥的分子筛，所述干燥器输出端通过导管密封连接有气动节流阀，所述气动节流阀输出端与储气罐输入端形成密封连接。本发明将压缩空气、压缩机空气后处理系统集成在一起，集成化的洁净气源发生器，提供一种采用无油压缩机作为动力源，配套干燥系统及过滤系统，保证压缩空气无油无水抑菌。