一种半导体芯片自动化测试系统及方法
摘要:
本发明涉及半导体芯片测试技术领域,具体地说,涉及一种半导体芯片自动化测试系统及方法。其包括基台和安装在基台上的测试控制机构,测试控制机构包括测试台,测试台的上方设置有光敏组件,测试台上还设置有热敏组件,光敏组件和热敏组件均用于给半导体芯片模拟应用环境,测试台和光敏组件之间设置有状态调控组件,状态调控组件的下方安装有定位机构,定位机构用于控制半导体芯片处于不同的温度环境,基台上安装有测试机构。本发明通过外调控盘和内调控盘控制照射孔照射光线的强度以及范围,使半导体芯片处于不同的光照状态、温度状态,以此模拟半导体芯片于不同应用环境下的具体状态。
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