本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种光模块及其制备方法，用于解决耦合损耗高且制备难度大的技术问题。该光模块包括：衬底、位于衬底内的目标波导、设置在衬底上的介质层，以及埋设在介质层内的至少两个亚波长光栅结构，至少两个亚波长光栅结构沿远离衬底的方向间隔排布，且相对设置，每个亚波长光栅结构在衬底上的正投影与目标波导在衬底上的正投影具有重合区。利用亚波长光栅结构的有效折射率可以调控的特点进行模斑转换，并将转换后的光耦合至目标波导中，可以降低耦合损耗。同时采用亚波长光栅结构，光模块的结构较为简单且没有引用新材料，可以与半导体工艺兼容，制备难度低。