一种高压功率二极管
摘要:
一种高压功率二极管,二极管纵向结构包括半导体本体区、终端钝化保护层以及阳极金属电极层、阴极金属电极层;半导体本体区是外延层区,通过注入形成pn结结构,实现正向导通和反向阻断;半导体本体区包括阳极阱区、重掺杂阳极区、阴极缓冲区、重掺杂阴极区、漂移区、终端掺杂区;终端钝化保护层位于终端掺杂区的上方;阳极金属电极层位于重掺杂阳极区上方,阴极金属电极层位于重掺杂阴极区下方,形成欧姆接触电极,并形成厚金属互联;在横向电阻区形成若干浅掺杂区,通过开孔与阳极金属层在垂直方向上形成电连接。通过优化浅掺杂区与金属之间的接触,以及浅掺杂区掺杂设计,实现对正向浪涌电流的分流,提高FRD浪涌能力,兼顾反向恢复特性。
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