Invention Grant
- Patent Title: 一种加热传输装置及镀膜设备
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Application No.: CN202310914754.7Application Date: 2023-07-25
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Publication No.: CN116623159BPublication Date: 2023-11-03
- Inventor: 王佳利 , 张孝平 , 文青松
- Applicant: 常州市大成真空技术有限公司 , 深圳市大成精密设备股份有限公司 , 东莞市大成智能装备有限公司
- Applicant Address: 江苏省常州市新北区北海东路58号; ;
- Assignee: 常州市大成真空技术有限公司,深圳市大成精密设备股份有限公司,东莞市大成智能装备有限公司
- Current Assignee: 常州市大成真空技术有限公司,深圳市大成精密设备股份有限公司,东莞市大成智能装备有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省常州市新北区北海东路58号; ;
- Agency: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司
- Agent 李天龙; 彭家恩
- Main IPC: C23C16/50
- IPC: C23C16/50 ; C23C16/54 ; C23C16/46
Abstract:
本发明涉及加热装置技术领域,具体涉及一种加热传输装置及镀膜设备。加热装置中的载板处于加热状态位时,通过加热面用于与载板面接触导热,实现对载板的热传导加热,由于加热板的加热面与载板接触面积较大,加热板与载板之间通过热传导的方式传递的热量较多,能够提高载板的升温速度。载板加热完成后,通过第二驱动机构驱动加热板摆动,改变加热板的状态,使加热板处于传输状态位,此时摩擦旋转驱动件能够与载板接触,在第一驱动机构的动力作用下,驱动载板运动,实现对载板的传输。综上分析,本申请的加热传输装置通过切换加热板的状态,实现对载板的加热和传输,由于通过加热板与载板面接触实现热传导传递热量,能够使载板较快升温。
Public/Granted literature
- CN116623159A 一种加热传输装置及镀膜设备 Public/Granted day:2023-08-22
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IPC分类: