一种电流变刀具、电流变对刀装置及电流变对刀方法
Abstract:
本发明涉及一种电流变刀具、电流变对刀装置及电流变对刀方法,电流变刀具包括沿Z轴向设置的非金属轴、设于所述非金属轴底部的电极盘、沿所述非金属轴对称设于所述电极盘底部两端并存在间隔的电极、设于所述电极底部的第一磁铁、以及设于两个所述电极间隙之间的电极阻隔片,所述电极阻隔片沿Z轴向的长度为不大于所述电极沿Z轴向的长度。电流变对刀装置包括电流变刀具及抛光液储液槽、第二磁铁、磁力计和止动片。电流变对刀方法为:通过调整第一磁铁与第二磁铁的间距,根据两者之间的磁场强度,确定硅片与电极间所需的抛光间隙。与现有技术相比,本发明能有效防止电极之间产生的放电现象,进而提高电流变抛光稳定性。
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