端面耦合器及光模块
摘要:
本申请提供一种端面耦合器及光模块,该端面耦合器包括衬底和形成于衬底上的波导结构,波导结构包括多层氮化硅层和包裹各层氮化硅层的包层,每层氮化硅层至少包括一个波导单元,所有波导单元分为过渡波导单元、耦合波导单元和终传输波导单元;波导结构划分为信号过渡区、信号转换区、信号耦合区、信号集中区和信号传输区,信号过渡区模拟信号传输器件的信号传输模式,信号转换区将传输来的信号转换为沿各波导单元传输的信号,信号耦合区将过渡波导单元中的信号耦合至耦合波导单元中,信号集中区将耦合波导单元中的信号耦合至终传输波导单元中,信号传输区将传输来的信号传输出。该端面耦合器与信号传输器件有较高的耦合效率。
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