- 专利标题: 具有偏振输出特性的芯片级垂直集成式被动调Q激光器
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申请号: CN202310948508.3申请日: 2023-07-31
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公开(公告)号: CN116667123B公开(公告)日: 2023-09-22
- 发明人: 付鑫鹏 , 付喜宏 , 张俊 , 彭航宇 , 宁永强
- 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址: 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 代理机构: 长春中科长光知识产权代理事务所
- 代理商 高一明
- 主分类号: H01S3/0941
- IPC分类号: H01S3/0941 ; H01S3/06 ; H01S3/08 ; H01S3/081 ; H01S3/10 ; H01S3/113 ; H01S3/23
摘要:
本发明涉及被动调Q激光器技术领域,尤其涉及一种具有偏振输出特性的芯片级垂直集成式被动调Q激光器,包括偏振泵浦源、激光增益介质和可饱和吸收体。偏振泵浦源采用偏振VCSEL,偏振VCSEL发出的偏振泵浦光进入各向异性吸收的激光增益介质进行泵浦,偏振泵浦源与增益介质形成线性三镜耦合腔结构以提升泵浦效率,泵浦后的激光增益介质为谐振腔提供预定波长的光学增益,经过可饱和吸收体调制谐振腔的腔内损耗后,实现具有偏振特性的被动调Q脉冲输出。本发明利用晶片键合方法实现三个组件之间的芯片级半导体/固体的垂直集成,集成式被动调Q激光器具有偏振输出特征、芯片级体积、结构简单、效率高、脉宽窄和峰值功率高等优点。
公开/授权文献
- CN116667123A 具有偏振输出特性的芯片级垂直集成式被动调Q激光器 公开/授权日:2023-08-29