具有偏振输出特性的芯片级垂直集成式被动调Q激光器
摘要:
本发明涉及被动调Q激光器技术领域,尤其涉及一种具有偏振输出特性的芯片级垂直集成式被动调Q激光器,包括偏振泵浦源、激光增益介质和可饱和吸收体。偏振泵浦源采用偏振VCSEL,偏振VCSEL发出的偏振泵浦光进入各向异性吸收的激光增益介质进行泵浦,偏振泵浦源与增益介质形成线性三镜耦合腔结构以提升泵浦效率,泵浦后的激光增益介质为谐振腔提供预定波长的光学增益,经过可饱和吸收体调制谐振腔的腔内损耗后,实现具有偏振特性的被动调Q脉冲输出。本发明利用晶片键合方法实现三个组件之间的芯片级半导体/固体的垂直集成,集成式被动调Q激光器具有偏振输出特征、芯片级体积、结构简单、效率高、脉宽窄和峰值功率高等优点。
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