一种在溶液法生长碳化硅过程中防止籽晶掉落的方法
摘要:
本发明提供一种在溶液法生长碳化硅过程中防止籽晶掉落的方法,所述方法包括以下步骤:(1)依次连接籽晶、石墨托和籽晶杆;(2)在石墨坩埚内制备Si合金溶液;(3)下降籽晶杆,利用Si合金溶液浸润籽晶和石墨托;(4)提拉籽晶杆,在籽晶的上表面和石墨托的侧壁形成SiC粘接体;(5)旋转籽晶杆,在籽晶的下表面生长SiC晶体。本发明通过改变传统的工艺步骤,在生长SiC晶体之前形成SiC粘接体,有效避免了溶液法生长6英寸及以上碳化硅晶体过程中发生籽晶和晶体掉落的现象,提升了长晶过程的成功率和安全性,有利于大规模推广应用。
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